样品种类：粉末状样品/颗粒状样品；

样品腔温度：室温～200℃，控制精度±0.1℃；

前驱体系统： 3路前驱体管路，增加其他前驱体源可选配；

前驱体源加热温度：25℃～200℃，控制精度±0.1℃；

ALD阀：Swagelok快速高温ALD专用阀；

本底真空：< 2x10^-1Pa，进口防腐泵；

载气系统：N2或者Ar；

控制系统：PLC+触摸屏或电脑程序控制；

电源：50～60Hz，220V/20A交流电源；

设备尺寸：500mm x 500mm x 1600mm（长x宽x高）